類金剛石（DLC）涂層處理
在PVD & PaCVD涂層組成和技術(shù)中，DLC涂層作為一個(gè)特的類別而脫穎而出。這些涂層表現(xiàn)出低摩擦系數(shù)和高顯微硬度的理想組合，使得它們?cè)谠S多摩擦學(xué)和磨損應(yīng)用中極其有效。
DLC涂層是在電離和分解的碳或烴類物質(zhì)以通常為10-300eV的能量降落在基底表面時(shí)形成的。DLC膜具有優(yōu)異的機(jī)械(高硬度)、光學(xué)(高光學(xué)帶隙)、電學(xué)(高電阻率)、化學(xué)(惰性)和摩擦學(xué)(低摩擦和磨損系數(shù))性能，并可在低襯底溫度(~200°C)下沉積。
DLC薄膜通常是非晶的（即沒有占主導(dǎo)地位的晶格結(jié)構(gòu)），由sp2（石墨）和sp3（金剛石）相的混合物組成。膜性能的控制強(qiáng)烈地依賴于所選擇的沉積技術(shù)(PVD濺射或蒸發(fā)和Pa-CVD)的通量特性、膜內(nèi)的金屬和氫含量、sp2:sp3比、襯底偏置電壓、離子能量和離子密度以及襯底溫度。DLC膜對(duì)鋼的摩擦系數(shù)一般在0.05-0.20之間，而膜硬度和sp3含量可以根據(jù)具體應(yīng)用而定制。含金屬和氫的DLC(Me-DLC或a-C:H:Me)在500-2000HV范圍內(nèi)具有35%sp3的硬度，無金屬DLC(C-DLC或a-C:H)通常為1500-4000HV和高達(dá)75%sp3，而四面體非晶碳(ta-C)在4000-9000HV范圍內(nèi)具有80-85%sp3。
因此提供了盡可能廣泛的可選擇的機(jī)械和物理性能范圍。工具和/或應(yīng)用的特性將決定哪種DLC涂層結(jié)構(gòu)將是適合的。請(qǐng)參閱下表，我們可用的DLC涂料組合物的完整列表。
| Proprietary Name | Composition | Thickness (microns) | Micro-Hardness (HV) | Coefficient of Friction | Maximum Working Temperature | Coating Process Temperature |
|---|---|---|---|---|---|---|
| C10 | DLC (ta-C) | 0.5-2.5 | 5000-9000 | 0.1 | 400°C/752°F | 220°C/448°F |
| C11 | DLC (a-C:H) | 1.0-4.0 | 2000-3000 | 0.1 | 350°C/662°F | 220°C/448°F |
| C12 | Me-DLC | 1.0-5.0 | 1000-2000 | 0.1 | 350°C/662°F | 160°C/320°F |
| C14 | C-DLC | 1.0-3.0 | 2200-4000 | 0.06 – 0.15 | 350°C/662°F | 180°C/356°F |
鉆頭
銑刀
剃刀刀片
硬質(zhì)合金刀片
沖頭
模具
精密沖裁工具
壓鑄模
注塑模具
型腔和型芯
桿
橡膠模具
閥門
腕銷
挺桿
活塞
軸
齒輪
軸承
凸輪或滑塊
